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前端预热滑轨PECVD
该PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成
产品简介:本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长
特点及用途:PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,...
产品简介:本设备主要针对实验中试石墨烯生长和制备使用,同时该设备可以用于碳纳米管的生长
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